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JIB-47000F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪,可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体,应用范围广泛。
监控、切割、组装和三维图像重构连续操作2大束流,最大90nA3.提供空前稳定的图像4.气体注入系统用于刻蚀和沉积5.最大装样 150 mm6.气锁式样品交换7.五轴全对中样品台8.多个样品分析接口
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