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中信证券:EUV光源换道超车 建议关注两条投资主线

时间:2024-02-21 12:23 点击次数:127

  智通财经APP获悉,中信证券发布研报称,近期SSMB方案得到广泛关注,该行认为存在EUV光源换道超车的可能性。从技术层面看,SSMB与同步辐射光源技术具有一定相似性,SSMB具备产业化验证条件。从供应链角度看,我国在同步辐射光源领域基础较好,在核心零部件自主可控的前提下,HEPS项目已完成光源出束。目前,SSMB方案已完成理论证明,项目建设有望提上日程。若SSMB方案商业化进展顺利,我国将在光刻机领域取得重大突破并推动国内先进制程领域发展。围绕SSMB主题,建议关注两条投资主线:项目基础设施供应商、光刻机关键零部件供应商。

  光源变革是光刻机技术迭代最有力的推动者,其他技术的变革是对光源迭代的回应。回顾光刻机发展历史,ASML正是选择了激进光源技术才实现了换道超车。SR光刻与EUV光刻均采用XIL技术,由于非相干光功率较低限制了SR光源工业化量产。SR光源和EUV光源均属于软X射线波段,在光刻环节均采用XIL技术,上海光源的XIL线站已运行超过十年,已取得一系科研和产业进展。但由于SR光源束团长度较长,产生的光相干性较差功率较小,限制了其在工业领域的大规模量产,SR光刻仅停留在实验室阶段。

  SSMB能通过FEL同时实现光源的短波长和相干性,克服SR光源功率不足的问题,预计投资规模较大。

  SSMB存储环中的自由电子激光具有束团品质高、波长连续可调、相干性强等优点,使得加速器光源产业化具备可行性。从投资规模看,根据《稳态微聚束加速器光源》(唐传祥、邓秀杰,2022),SSMB投资强度较大,预计造价为数亿到十亿元。同时,参照HEPS项目,该行预计未来SSMB项目主要零部件可达成自主可控,具备商业化落地前提。目前,HEPS加速器组成已部分完成招标,根据HEPS官网以及中国政府采购网信息,HEPS加速器的电子枪、微波功率源、配套仪器等供应商基本以国内厂商为主,供应商包括沈阳科学仪器、宝胜科技、北京高能锐新科技、合肥科烨、合肥聚能、爱科赛博、杭州永磁等;但真空系统配套设备组件采购仍较大程度依赖海外厂商,包括普发真空、美国MT、三井光中真空、韩国希尔泰等。

  SSMB可能存在应用瓶颈;方案建设进度不及预期;光刻机产业链发展不及预期;商业化进度不及预期;半导体行业资本开支力度减弱。

  作为“半导体工业掌上明珠”,ASML目前仍为全球唯一EUV光刻机供应商。受到国际政治博弈等不利因素影响,我国亟需在EUV光刻机等核心设备领域实现突破。清华大学提出的SSMB方案创新性地将同步辐射光源技术应用于EUV光刻领域。我国在同步辐射光源领域基础较好,HEPS项目已完成光源出束。从供应链角度看,HEPS基本可达到核心组成部分自主可控,该行认为SSMB方案在技术以及基础设施领域均具备较好的可实施性。虽然SSMB方案仍未进入建设期,项目仍有较大不确定性,但该行认为HEPS供应商与SSMB具有可比性,梳理HEPS项目供应商具有一定合理性。围绕SSMB方案,该行建议重点关注两条投资主线)项目基础设施供应商:若方案在未来得到验证,该行认为有望率先带动大规模SSMB方案基础设施建设,电源、真空系统、电线电缆、核心器件等零组件有望率先受益;

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